唐巨鹿(今属河北)人，一说魏州昌乐(今河南南乐)人，俗姓张，名遂。少时刻苦力学，博览经史。武周时，因不愿与武三思交往，出家为僧，隐于嵩山，师事普寂。后从善无畏、金刚智习密宗，参与善无畏译场，助译《大日经》，作《大日经疏》二十卷，为中国佛教密宗的重要著述。精于历法、天文。与梁令瓒同制黄道游仪，用以重新测定一百五十余颗恒星的位置。开元十二年(724)，主持天文大地测量，由南宫说等负责实地测查。以中原平地为中心，北到北纬51度左右的铁勒回纥部，南达北纬17度多的林邑，中经朗州武陵(今湖南常德)、襄州(今湖北襄樊)、太原府(今山西太原)、蔚州横野军(今河北蔚县东北)等十余处。分别测量当地冬、夏二至和春、秋二分的日影长及北极高(即纬度)。其中黄河南岸平原南北五百余里地间的白马(今河南滑县旧滑县城)、浚仪(今开封)、扶沟、上蔡四处，还实地测量了相互间的距离。根据实测记录，经计算得出“大率三百五十一里八十步而差一度”的结果，推翻了周代以来“王畿千里影移一寸”的说法，测得子午线弧长为一度131.11公里，与今误差20.17公里。是为中国历史上第一次子午线长度实测，也是世界上实地测量子午线的开端。又曾订定《大衍历》，自开元十七年起施行，其格式为后代历法家编历所遵循。卒谥“大慧禅师”。